산소플랜트는 주로 극저온 공기분리방식을 이용하여 산소를 생산하며, 구체적인 공정은 다음과 같습니다.
공기 전처리: 공기를 여과하여 먼지와 불순물을 제거한 후 압축기로 가압합니다.
냉각 및 액화: 가압된 공기는 냉동 장치를 사용하여 액체 상태로 냉각됩니다.
증류분리 : 증류탑에서는 산소(끓는점 -183도)와 질소(끓는점 -196도)의 끓는점 차이를 이용하여 가열과 증류에 의해 질소를 기화 분리하고 주로 액체산소를 남깁니다.
제품 수집: 기화 후 액체 산소는 일반적으로 99.6% 이상의 순도를 갖는 원하는 고순도 산소를 생성합니다.-
이 방법은 물리적 변화를 활용하여 산소와 질소를 분리합니다. 원자재는 널리 이용 가능하고 저렴하므로 대규모 산업 생산에 적합합니다.- 그 밖에도 분자체 흡착, 물 전기분해 등 다른 산소 생산 방법도 있으나 산업적으로는 극저온 공기 분리 방법이 주로 사용된다.